درستی شکل یک جز ماشین کاری شده، یکی از شاخصهای عملکرد یک فرایند ماشین کاری محسوب میشود. میکرو ماشین کاری آلتراسونیک، یک چنین فرایندی است که در آن درستی شکل جزء میکرو ماشین شده، به طور قابل توجهی به پایداری شکل ابزار بستگی دارد. بر خلاف ماکرو ماشین کاری (ماشین کاری درشت)، یک میزان بسیار کوچک از فرسایش ابزار در میکرو ماشین کاری (ماشین کاری ریز) میتواند منجر به تغییرات قابل توجهی در درستی شکل جزء ماشین شده شود. انتخاب مناسب ماده ی ابزار برای غلبه بر این مشکل، ضروری است. مطالعه ی کنونی، اثر ماده ی ابزار، اندازه سنباده و تغذیه مرحله ای در ساخت میکرو کانالها با ماشین کاری آلتراسونیک روی شیشه بوروسیلیکات را مورد بحث قرار میدهد. توسعه ی میکرو کانالها با استفاده از میکرو ماشین کاری آلتراسونیک به ندرت گزارش شده بود. مشاهده شد ابزار تنگستن کربید یک درستی شکل بهتر را در مقایسه با میکرو کانال ماشین شده با ابزار فولاد ضد زنگ، ارائه کرد. مکانیسم فرسایش ابزار در هر دو ما با بررسی اسکن میکرو گرافهای الکترونی ابزار به عنوان مدرک، پیشنهاد میشود. یک عامل در یک دستاورد زمانی برای مطالعه ی اثر پارامترهای فرایند مختلف، بکار رفت.